ESD(정전기)의 모형
HBM(Human body model,인체모형) |
여러가지 마찰에 의해 인체에 축척된 불안전한 전하가 사람 손끝을 통해 IC다리 를 만짐으로 IC 속으로 방전한다. 이때 IC는 파괴되며 이 유형을 HBM이라 부른다. 보통 정전기라 함은 HBM모형을 의미한다.
1) 등가회로
인체내부에는 커패시터(콘덴서)가 존재하며 마찰에 의한 전하를 축척한다. 이것이 IC 파괴원으로 작용한다.
IC내부의 Diode성분파괴및 절연막 파괴
Cb(capacitor of body,인체의 콘덴서 용량) : 100 ~ 200 pF
Rb(resister of body,인체의 저항) : 체내저항( 100 ~200Ω), 손끝 피부접촉저항( 1㏀ ~ 수십㏀ )
2) 인체에 대전되는 전력(power,energy)는 어느정도인가?
E = 1/2 CV
예) 겨울철 의자에서 기판수삽하는 경우
Cb = 100 ~200pF, V = 6KV이므로 E = 1/2CV2 = 0.5 ×200×10-12 ×60002 = 3.6mJ
3) IC maker에서의 정전기 규격(세계규격)
|
조 건 |
SPEC |
EIAJ |
R = 0Ω, C = 200 pF |
200V 이상 견딜 것 |
MIL STD 883 |
R = 1KΩ, C = 200 pF |
1KV 이상 견딜 것 |
IC Maker에서 보증하는 IC 파괴 energy량은?
Cb = 200pF, V = 200V이므로
E = 1/2CV2 = 0.5 ×200×10-12 ×2002 = 4.0uJ
겨울철 수삽할때 인체에 대전되는 energy는 3.6mJ이고 IC 파괴 에너지는 4.0uJ이므로 이론적으로 IC를 900개 파괴시킬수 있는 에너지이다.
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